CG-17玻璃三級(jí)高真空油擴(kuò)散泵
GG－17玻璃膨脹系數(shù)低，能更好地耐受很高的溫度差變，故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業(yè)，如電子管。顯象管。X光管，以及半導(dǎo)體單晶
硅的冶煉提純，高沸點(diǎn)的油脂蒸餾提純分離，日光燈，保溫瓶高真空排氣的儀器。
工作原理
先由轉(zhuǎn)動(dòng)
真空泵把系統(tǒng)抽到10-２Pa擴(kuò)散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達(dá)到機(jī)械
真空泵的工作范圍
而被抽出,從而逐漸獲得高真空.
水環(huán)式
真空泵/液環(huán)真空泵工作原理
水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓
的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。
水環(huán)泵**初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔jue；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣
口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。
綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔?/div>
真空泵。
羅茨泵的工作原理
羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決
于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，
在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。
但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵
外。
旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科
研部門。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒
塵埃的氣體。
旋片泵是真空技術(shù)中**基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級(jí)的，以獲得
較高的真空度。
旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10
-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵
腔內(nèi)壁滑動(dòng)。
兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔jue時(shí)，即轉(zhuǎn)**空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，**后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排**大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排**大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān)，因
而提高了極限真空度。
Regen 其實(shí)就是再生，把之前吸附在Cryo Pump（冷凝泵）的兩級(jí)冷頭(Cold Header)上面的氣體排除出去。因?yàn)閏ryo pump是把氣體吸附和冷凝在它的冷頭上，經(jīng)過一段時(shí)間后，冷頭就會(huì)達(dá)到飽和，它的吸附冷凝的效果就會(huì)大幅度的下降，進(jìn)而chamber里面的壓力就達(dá)不到制程所規(guī)定的要求。所以就是需要進(jìn)行Regen。在半導(dǎo)體工業(yè)中，使用到Cryo pump的主要有兩個(gè)部門，Thin Film 的PVD 還有IMP（離子植入）。PVD是高真空的制程，IMP 則需要在高真空的環(huán)境下產(chǎn)生比較純的離子來植入到wafer表面。Cryo pump 一般有兩個(gè)冷頭來吸附不同的氣體，**級(jí)主要是用來吸附水氣，第二級(jí)要來吸附氮?dú)猓瑲鍤獾葰怏w不純的雜質(zhì)氣體，但是cryo pump對(duì)小分子量的氣體的吸附能力比較的弱，比如氫氣氦氣就不能完全吸附在冷頭上，所以在第二級(jí)冷頭背后增加了活性炭材料來吸附這些小分子的氣體。cryo Pump的壓縮機(jī)是使用氦氣來做熱交換媒介的。cryo pump的型號(hào)，在8寸和12寸的應(yīng)用材料的Endura機(jī)器上有一些差別。主要是12寸的on board 控制器對(duì)cryo pump 中的運(yùn)動(dòng)活塞的速度在做Regen的時(shí)候速度是8寸的兩倍，所以大大的減少了Regen所需要的時(shí)間。 Cryo pump的Regen有兩種Fast Regen 和Full Regen。5 ]8 ) c' [/ Z; h
Fast regen 就是兩個(gè)冷頭的溫度只是上升到大概150K左右，然后進(jìn)行purge，然后cool down。) x& A& ~" N3 e
Full regen 就是兩個(gè)冷頭的溫度上升到室溫大概300K左右，然后進(jìn)行Purge，。。。。。然后cool down。
